AMAT 0020-23075

产品名称腔体内部等离子体屏蔽组件产品简介该组件安装于半导体工艺腔体内部电极与侧壁之间，用于约束等离子体分布、均匀电场强度、屏蔽杂散射频信号，减少异常放电与打火现...