AMAT 0200-35428

产品名称晶圆承载台边缘防护环组件产品简介该组件安装于晶圆承载台外围边缘，用于防护承载台表面免受等离子体直接轰击与反应物污染，同时均匀化晶圆边缘工艺环境，改善边缘...