AMAT 0020-10202

产品名称晶圆顶升导向支撑组件产品简介该组件用于晶圆承载台顶升机构的导向与支撑，保证晶圆在升降过程中平稳、垂直、无偏移运动，实现与机械手的精准安全交接，避免晶圆抖...