产品名称晶圆顶升导向支撑组件产品简介该组件用于晶圆承载台顶升机构的导向与支撑，保证晶圆在升降过程中平稳、垂直、无偏移运动，实现与机械手的精准安全交接，避免晶圆抖动、倾斜与划伤。技术规格
- 材质：航空级铝合金与耐磨工程材料
- 表面处理：镜面抛光、防划伤、耐磨涂层
- 结构形式：精密导向柱与支撑顶针一体化
- 运动精度：微米级垂直导向精度
- 耐磨性能：低摩擦、长寿命、抗疲劳
- 洁净等级：超高洁净、无颗粒释放功能特点
- 升降运动平稳垂直，无倾斜、无抖动、无卡滞。
- 支撑点均匀分布，晶圆受力均衡，不易变形。
- 表面光滑洁净，不划伤晶圆背面。
- 耐磨性能优异，可承受高频次升降动作。
- 安装定位精准，与顶升机构配合完美。
- 维护简单，长期运行稳定性高。应用场景
- 刻蚀、沉积、热处理设备晶圆顶升机构
- 200mm/300mm 晶圆自动传输交接单元
- 真空腔体内部晶圆升降支撑系统
- 半导体自动化晶圆处理设备
AMAT 0200-00071 
AMAT 0200-01915 
AMAT 0020-22950 
AMAT 0010-39189 