产品名称腔体内部绝缘支撑组件产品简介该组件用于腔体内部电极、加热模块、屏蔽部件的绝缘支撑与固定，在高电压、高温度、高射频环境下提供稳定机械支撑与可靠电气绝缘，防止漏电、打火与短路现象。技术规格
- 材质：高纯度工程陶瓷与绝缘复合材料
- 耐压性能：高直流与射频电压绝缘强度
- 耐温范围：-50℃～400℃
- 机械强度：高抗压、抗振动、抗冲击
- 结构形式：精密支撑柱 / 衬套一体化结构
- 真空兼容性：低释气、高洁净、无挥发物功能特点
- 绝缘性能优异，防止高压漏电与射频打火。
- 机械支撑稳定，长期使用不变形、不断裂。
- 耐高温、抗热震，适应快速升降温工艺循环。
- 耐等离子体与化学腐蚀，不污染腔体环境。
- 安装定位精准，配合间隙均匀可靠。
- 尺寸精度高，通用性强，便于更换维护。应用场景
- 等离子体工艺腔体电极绝缘支撑
- 射频电场环境下部件绝缘与固定
- 高温真空腔体内部结构支撑
- 半导体刻蚀、沉积、退火设备腔体
AMAT 0200-00071 
AMAT 0200-01915 
AMAT 0020-22950 
AMAT 0010-39189 