产品名称真空管路手动截止阀组件产品简介该组件用于半导体真空系统与高纯气路管路的手动通断控制，采用高洁净密封结构与无死角流道设计，实现真空与工艺气体环境下的安全可靠切断，满足高真空、高洁净度使用要求。技术规格
- 阀体材质：高纯度 316L EP 级不锈钢
- 密封形式：高弹性隔膜密封结构
- 操作方式：手动旋转调节开关
- 接口规格：标准 VCR 金属面密封接口
- 适用介质：真空环境、惰性气体、弱腐蚀性气体
- 工作温度：-40℃～150℃功能特点
- 密封性能优异，实现零泄漏关闭。
- 流道内壁电解抛光，无死角、无气体滞留。
- 耐腐蚀、耐老化，适应长期工艺气体环境。
- 操作手感顺滑，开关定位清晰准确。
- 结构紧凑，适合狭小空间安装使用。
- 维护简单，使用寿命长，运行稳定可靠。应用场景
- 半导体设备真空管路手动通断控制
- 高纯气体输送管路旁路与维修切断
- 真空泵组前级管路开关控制
- 刻蚀、沉积、清洗设备真空与气路系统
AMAT 0200-00071 
AMAT 0200-01915 
AMAT 0020-22950 
AMAT 0010-39189 