AMAT 0200-04366

产品名称腔体顶部进气分配环组件产品简介该组件安装于工艺腔体顶部，用于将多路工艺气体均匀混合并环形分配进入腔体，保证气体在晶圆上方分布均匀，优化气流场，提升工艺均...