AMAT 0020-77444

产品名称晶圆承载台隔热基座组件产品简介该组件安装于晶圆承载台底部，兼具隔热、支撑、绝缘三重功能，有效阻隔高温承载台热量向下传递，稳定腔体温度场，降低能耗与外部部...