AMAT 0200-01915

产品名称晶圆边缘工艺聚焦环组件产品简介该组件安装于晶圆承载台外围，用于优化晶圆边缘电场、气流与等离子体分布，改善晶圆边缘工艺均匀性，减少边缘效应，提升整片晶圆工...