AMAT 0010-C8073

产品名称：静电卡盘总成（ESC）产品简介：专为半导体工艺腔室设计的高精度晶圆夹持与温控组件，采用高纯度陶瓷基底，提供无机械应力的静电吸附与均匀温度控制，保障先进...