AMAT 0041-90952

产品名称：气体喷淋头（气体分布板）产品简介：用于工艺腔室顶部的高精度气体均匀分布组件，将工艺气体以均匀流量、均匀角度喷射至晶圆表面，确保沉积 / 刻蚀厚度均匀。...