AMAT 0200-10540

产品名称：陶瓷聚焦环产品简介：安装于静电卡盘外围的等离子体约束环，用于约束等离子体分布、改善晶圆边缘工艺均匀性，补偿边缘效应，提升全片制程一致性。技术规格材质：...