AMAT 0040-70328

产品名称：陶瓷加热基座组件产品简介：用于半导体工艺腔室的晶圆加热与支撑组件，采用高纯度陶瓷材质，提供均匀温度控制与稳定支撑，适配 200mm 晶圆制程。技术规格...