AMAT 0020-13530

产品名称：真空腔室屏蔽内衬组件产品简介：安装于半导体工艺腔室内壁的一体化防护与屏蔽结构件，用于隔离等离子体、抑制射频干扰、降低金属污染，保障制程稳定性与晶圆良率...