AMAT 0040-49556

产品名称：陶瓷加热基座总成产品简介：用于晶圆高温制程的加热与支撑一体化组件，采用高纯度陶瓷基底，提供均匀温控与稳定支撑，适配高精度沉积与刻蚀工艺。技术规格基底材...