AMAT 0200-09305

产品名称：高纯陶瓷聚焦环产品简介：安装在静电卡盘外围的等离子体约束部件，用于优化边缘等离子体分布，补偿边缘效应，提升全晶圆制程均匀性。技术规格材质：高纯氮化铝 ...