产品名称：高纯陶瓷聚焦环产品简介：安装在静电卡盘外围的等离子体约束部件，用于优化边缘等离子体分布，补偿边缘效应，提升全晶圆制程均匀性。技术规格
- 材质：高纯氮化铝 / 氧化铝陶瓷
- 耐温：室温～450℃
- 绝缘强度：＞20kV/mm
- 表面粗糙度：Ra＜0.2μm
- 适配：200mm/300mm 工艺组件功能特点
- 显著改善晶圆边缘刻蚀 / 沉积均匀性
- 高绝缘性，抑制射频泄漏与异常放电
- 耐等离子体侵蚀，颗粒释放极低
- 热匹配性好，长期运行不开裂
- 安装定位精准，一致性高应用场景
- 等离子体干法刻蚀设备
- PVD、CVD 腔室边缘均匀性修正
- 先进制程高精度工艺环节
- 8 英寸 / 12 英寸晶圆制程
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 