产品名称：电容式真空压力传感器产品简介：采用电容式传感原理，用于真空腔室与气体管路高精度压力测量，覆盖中高真空区间，抗腐蚀、低漂移、高稳定性。技术规格
- 量程：1×10⁻⁵ Torr～100 Torr
- 精度：±0.25% F.S.
- 输出信号：0–10V / 4–20mA
- 响应时间：＜50ms
- 接触材质：316L 不锈钢、陶瓷功能特点
- 测量结果不受气体种类影响
- 耐受氟、氯基腐蚀性工艺气体
- 长期年漂移＜0.05% F.S.
- 抗振动、抗电磁干扰
- 标准接口即插即用，易集成应用场景
- 刻蚀、沉积、离子注入腔室真空监测
- 真空机组、气体管路压力控制
- 超高真空系统压力闭环调节
- 设备预防性维护与故障诊断
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 