产品名称：高精度工艺压力变送器产品简介：用于半导体工艺气体与真空系统压力测量的信号转换模块，将压力物理量转换为标准电信号，满足高精度工艺控制需求。技术规格
- 量程：0～100 Torr / 0～1000 Torr 可选
- 精度：±0.1% F.S.
- 输出：4–20mA / 0–5V
- 供电：24V DC
- 工作温度：-10℃～60℃功能特点
- 全温区自动补偿，稳定性强
- 高精度、低噪声、高分辨率
- 具备过压、反接、过流保护
- 结构紧凑，安装维护便捷
- 兼容绝大多数工艺气体应用场景
- 气体柜、气体分配系统压力监控
- 真空管路、工艺腔室压力测量
- 刻蚀、沉积、离子注入设备
- 厂务公用工程压力监测
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 