产品名称：狭缝阀执行器总成产品简介：真空传输腔室狭缝阀的驱动执行机构，负责阀瓣开启、关闭与位置锁定，保证腔室真空隔离与晶圆传输通道通断。技术规格
- 驱动方式：气动 / 电动复合驱动
- 动作速度：＜1s
- 工作真空：＜1×10⁻⁹ Torr
- 工作温度：0～60℃
- 循环寿命：＞100 万次功能特点
- 动作快速稳定，无卡滞、无抖动
- 密封可靠，真空隔离效果稳定
- 自带位置反馈与故障检测
- 适配高真空、洁净环境
- 维护简单，更换便捷应用场景
- 真空传输腔室、工艺腔室隔离
- 刻蚀、沉积、离子注入设备
- 晶圆真空传输系统
- 高真空门阀驱动控制
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 