产品名称：皮拉尼真空计传感器产品简介：基于热传导原理的粗 / 低真空测量传感器，用于真空机组、预抽腔、传输腔的真空度监测，响应快、可靠性高。技术规格
- 量程：1 Torr～1×10³ Torr
- 精度：±1% F.S.
- 输出：0–10V
- 响应时间：＜100ms
- 工作温度：0～50℃功能特点
- 宽量程覆盖粗真空与低真空
- 长期稳定，免校准周期长
- 抗污染能力强，不易漂移
- 结构坚固，抗振动冲击
- 即插即用，适配主流控制器应用场景
- 真空干泵、分子泵前级监测
- 锁止腔、传输腔预抽真空监控
- 刻蚀、沉积设备真空系统
- 半导体设备真空状态检测
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 