产品名称：腔室隔热支撑基座产品简介：用于工艺腔室加热组件与腔体结构之间的隔热与支撑部件，减少热量损耗、稳定腔体温场、保护外部结构件。技术规格
- 材质：高纯陶瓷 + 无机隔热材料
- 耐温：-40℃～600℃
- 导热系数：＜0.5 W/(m・K)
- 承重：＞50kg
- 平整度：＜0.05mm功能特点
- 高效隔热，降低设备能耗
- 结构稳定，长期高温不变形
- 无挥发、无释气，符合洁净要求
- 支撑均匀，避免加热组件倾斜
- 耐机械冲击与热冲击应用场景
- 高温工艺腔室加热系统
- 刻蚀、沉积、氧化设备隔热
- 200mm/300mm 晶圆制程
- 加热台、静电卡盘底部支撑
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 