产品名称：多量程真空压力传感器产品简介：集成双量程的高精度真空测量模块，覆盖低真空至高真空全区间，满足半导体设备多段真空监测需求。技术规格
- 量程一：1 Torr～1×10³ Torr
- 量程二：1×10⁻⁵ Torr～1 Torr
- 精度：±0.25% F.S.
- 输出：0–10V / 4–20mA
- 介质：兼容所有工艺气体功能特点
- 单探头实现全量程覆盖，减少安装点
- 自动量程切换，响应迅速
- 抗腐蚀、抗污染、长期稳定
- 高精度、低漂移、高一致性
- 标准信号输出，易接入控制系统应用场景
- 多段真空工艺腔室压力监测
- 刻蚀、PVD、CVD、离子注入设备
- 真空机组全程压力监控
- 先进制程真空闭环控制
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 