产品名称：射频信号电缆总成产品简介：用于射频电源与匹配网络、腔室耦合线圈之间的大功率射频传输电缆，低损耗、高屏蔽、耐高压、耐弯折。技术规格
- 频率：13.56MHz / 2MHz 兼容
- 功率容量：0～3000W
- 阻抗：50Ω
- 屏蔽效能：＞60dB
- 耐压：＞5kV RMS功能特点
- 射频传输损耗极低，功率利用率高
- 双层屏蔽，抑制对外电磁干扰
- 耐高压、耐等离子体环境老化
- 柔性结构，耐弯折、寿命长
- 接头镀金，接触稳定、不打火应用场景
- 13.56MHz 射频等离子体设备
- 刻蚀、PECVD、ICP 射频系统
- 射频电源→匹配网络→腔室连接
- 半导体设备射频功率传输
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 