AMAT 0010-70162

产品名称：狭缝阀执行器总成产品简介：真空传输腔室狭缝阀的驱动执行机构，负责阀瓣开启、关闭与位置锁定，保证腔室真空隔离与晶圆传输通道通断。技术规格驱动方式：气动 ...