AMAT 0020-22476

产品名称：真空腔室保护罩组件产品简介：安装在半导体工艺腔室内的防护结构件，用于隔离等离子体、保护腔室主体、减少金属污染与颗粒产生，维持制程环境洁净稳定。技术规格...