AMAT 0041-76691

产品名称：气体喷淋头组件产品简介：安装于工艺腔室顶部的气体均匀分布部件，通过精密微孔阵列将工艺气体均匀喷射至晶圆表面，提升制程均匀性。技术规格材质：高纯铝合金 ...