Gasonics 95-0203-03

产品名称：射频匹配网络控制板 / 等离子发生器接口板产品简介：控制 RF 匹配网络，调节发生器与腔体阻抗匹配，保证等离子稳定点火与均匀处理。技术规格：功能：射频...