产品名称：射频匹配网络控制板 / 等离子发生器接口板产品简介：控制 RF 匹配网络，调节发生器与腔体阻抗匹配，保证等离子稳定点火与均匀处理。技术规格：
- 功能：射频阻抗匹配控制
- 接口：模拟 / 数字对接 13.56MHz 发生器
- 算法：自动调谐
- 供电：24V 直流
- 适用：Aura、L3500、PEP功能特点：
- 实时阻抗监测调整
- 快速响应压力、气体变化
- 等离子点火稳定
- 故障检测保护应用场景：半导体等离子刻蚀、去胶、沉积工艺，保证 RF 功率最佳输送。
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Gasonics 95-0203-03
2026-03-06 14:06 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics 95-0203-03
品牌Gasonics
型号95-0203-03
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