Gasonics AWD-D-1-3-4

产品名称：高级晶圆驱动组件产品简介：精密伺服驱动电机组件，用于 Gasonics 半导体处理腔体内高精度晶圆定位与传输，实现负载锁、腔体内部平稳运动。技术规格类...