产品名称：高级晶圆驱动组件产品简介：精密伺服驱动电机组件，用于 Gasonics 半导体处理腔体内高精度晶圆定位与传输，实现负载锁、腔体内部平稳运动。技术规格
- 类型：带编码器闭环伺服驱动
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列负载锁系统
- 定位精度：亚微米重复精度功能特点
- 闭环控制，定位无误差
- 运动平滑，无振动，不损伤晶圆
- 故障检测应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 负载锁腔体晶圆升降、传输
- 150mm/200mm 晶圆精密定位
- 老旧传输系统替换驱动
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Gasonics AWD-D-1-3-4
2026-03-06 15:24 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics AWD-D-1-3-4
品牌Gasonics
型号AWD-D-1-3-4
价格电议
质保一年
电话 15359273790
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