产品名称:内部真空管路组件产品简介:高纯度、耐腐蚀真空管路总成,用于 Gasonics 半导体设备内部气体与真空分配,保持真空完整性与工艺纯度。技术规格
- 材质:高纯度耐腐蚀聚合物
- 结构:定制长度真空管路
- 压力等级:高真空兼容
- 接头:精密压接接头功能特点
- 内壁超光滑,减少颗粒滞留
- 抗等离子副产物与工艺气体腐蚀
- 柔性、抗弯折应用场景
- Gasonics PEP 3510A 刻蚀机内部真空管路
- Aura 2000LL 等离子灰化机工艺气体输送
- 多腔体系统真空歧管连接
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产品 Gasonics 60-171792-00
品牌Gasonics
型号60-171792-00
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