产品名称：等离子 / 灯管故障检测电路板产品简介：专用 PCB，监测 Gasonics 设备等离子生成与灯管系统故障，实时检测并保护设备与工艺。技术规格
- 功能：等离子点火、灯管状态监测模块
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列等离子系统
- 接口：模拟 / 数字 I/O功能特点
- 持续监测等离子点火状态
- 灯管电流电压分析，预测故障
- 快速故障检测与系统联锁应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 等离子灰化机安全监测
- PEP 4800DL Iridia 刻蚀机灯管系统故障检测
- 光刻胶剥离、介质刻蚀保护
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 