产品名称：精密晶圆传输驱动模块产品简介：高性能驱动组件，用于 Gasonics 高端处理系统晶圆运动控制，实现大气与真空之间精准传输。技术规格
- 类型：高扭矩低齿槽伺服电机 + 集成驱动
- 适用设备：Gasonics Aura 系列负载锁、传输系统
- 定位：编码器亚微米定位功能特点
- 闭环控制，定位绝对精准
- 平滑运动曲线，防止晶圆滑移
- 热保护，可连续运行应用场景
- Gasonics Aura 3010 下游式灰化机晶圆传输
- 200mm 晶圆系统负载锁升降控制
- 多腔体集群设备精密定位
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Gasonics AWD-D-3-1-14-006
2026-03-06 15:26 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics AWD-D-3-1-14-006
品牌Gasonics
型号AWD-D-3-1-14-006
价格电议
质保一年
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