Gasonics AWD-D-3-1-14-006

产品名称：精密晶圆传输驱动模块产品简介：高性能驱动组件，用于 Gasonics 高端处理系统晶圆运动控制，实现大气与真空之间精准传输。技术规格类型：高扭矩低齿槽...