Gasonics AWD-D-3-1-6-004

产品名称：晶圆定位驱动组件产品简介：紧凑型高精度驱动系统，用于 Gasonics 工艺腔体内晶圆精准定位，实现晶圆对中、校准。技术规格类型：无刷伺服驱动 + 集...