产品名称：晶圆定位驱动组件产品简介：紧凑型高精度驱动系统，用于 Gasonics 工艺腔体内晶圆精准定位，实现晶圆对中、校准。技术规格
- 类型：无刷伺服驱动 + 集成位置反馈
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列工艺腔体
- 负载：适配 150mm/200mm 晶圆功能特点
- 零回程间隙运动
- 可编程运动曲线
- 集成限位开关保护应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 工艺腔体晶圆校准
- PEP 4800DL 双工位刻蚀机定位控制
- 光刻胶剥离、去边关键运动部件
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Gasonics AWD-D-3-1-6-004
2026-03-06 15:27 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics AWD-D-3-1-6-004
品牌Gasonics
型号AWD-D-3-1-6-004
价格电议
质保一年
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