产品名称:高频射频控制模块产品简介:专用射频控制与信号处理模块,用于 Gasonics 半导体设备等离子生成精确控制,管理射频功率输出与匹配。技术规格
- 功能:射频信号发生与控制模块
- 频率:兼容 13.56MHz 工业等离子标准
- 封装:44 脚 CQFJ 贴片封装功能特点
- 精确射频功率调节
- 快速响应阻抗匹配需求
- 反射功率故障检测应用场景
- Gasonics PEP 系列等离子刻蚀机射频控制
- Aura 2000LL 光刻胶灰化机等离子稳定控制
- 先进工艺配方信号处理
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产品Gasonics 97042-01
品牌Gasonics
型号97042-01
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