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Gasonics 97042-01

2026-03-06 15:26 已有人浏览 小编

分类其它品牌

产品Gasonics 97042-01

品牌Gasonics

型号97042-01

价格电议

质保一年

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详情介绍

产品名称:高频射频控制模块
产品简介:专用射频控制与信号处理模块,用于 Gasonics 半导体设备等离子生成精确控制,管理射频功率输出与匹配。
技术规格
  • 功能:射频信号发生与控制模块
  • 频率:兼容 13.56MHz 工业等离子标准
  • 封装:44 脚 CQFJ 贴片封装
    功能特点
  • 精确射频功率调节
  • 快速响应阻抗匹配需求
  • 反射功率故障检测
    应用场景
  • Gasonics PEP 系列等离子刻蚀机射频控制
  • Aura 2000LL 光刻胶灰化机等离子稳定控制
  • 先进工艺配方信号处理