Gasonics AWD-D-3-1-7-005

产品名称：高精度晶圆传输驱动组件产品简介：伺服驱动定位组件，用于 Gasonics 高端系统超精准晶圆运动，实现工艺模块间平稳传输。技术规格类型：无刷伺服电机 ...