产品名称：高精度晶圆传输驱动组件产品简介：伺服驱动定位组件，用于 Gasonics 高端系统超精准晶圆运动，实现工艺模块间平稳传输。技术规格
- 类型：无刷伺服电机 + 集成编码器
- 适用设备：Gasonics Aura 系列负载锁、传输系统
- 定位精度：亚微米重复精度
- 负载：200mm 晶圆功能特点
- 闭环位置控制，零定位误差
- 平滑加减速，不损伤晶圆
- 热保护，可连续生产应用场景
- Gasonics Aura 3010 下游灰化机晶圆传输
- PEP 4800DL 双腔体系统精密定位
- 先进半导体制造运动控制
产品中心
- ABB
- Allen-Bradley
- GE
- Schneider
- Yaskawa
- Bosch Rexroth
- Bently
- Triconex
- Honeywell
- Woodward
- Kuka
- NI
- Hima
- Yokogawa
- Emerson
- Motorola
- E+H
- Nvidia
- 储能产品
- Moog
- Kollmorgen
- Toshiba
- Metso
- Hitachi
- Xycom
- Sew
- Tektronix
- Omron
- Alstom
- Pacific
- Lam
- Mtl
- 其它品牌
- Siemens
- Amat
- Deif
- Agilent
- Elau
- Extreme Networks
全国服务热线
15359273790
技术过硬，据实报价
Gasonics AWD-D-3-1-7-005
2026-03-06 15:33 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics AWD-D-3-1-7-005
品牌Gasonics
型号AWD-D-3-1-7-005
价格电议
质保一年
电话 15359273790
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 