产品名称:晶圆定位伺服驱动组件产品简介:高性能伺服驱动系统,用于 Gasonics 工艺腔体内晶圆精准定位、对中、校准。技术规格
- 类型:高扭矩伺服驱动 + 位置反馈
- 适用设备:Gasonics Aura、PEP 系列工艺腔体
- 定位分辨率:微米级功能特点
- 零回程间隙
- 可编程运动曲线
- 限位开关保护应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 工艺腔体晶圆校准
- PEP 4800DL 双工位刻蚀机定位
- 光刻胶剥离、去边关键运动部件
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15359273790
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分类其它品牌
产品Gasonics AWD-D-3-1-7-004
品牌Gasonics
型号AWD-D-3-1-7-004
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质保一年
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