产品名称：晶圆定位伺服驱动组件产品简介：高性能伺服驱动系统，用于 Gasonics 工艺腔体内晶圆精准定位、对中、校准。技术规格
- 类型：高扭矩伺服驱动 + 位置反馈
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列工艺腔体
- 定位分辨率：微米级功能特点
- 零回程间隙
- 可编程运动曲线
- 限位开关保护应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 工艺腔体晶圆校准
- PEP 4800DL 双工位刻蚀机定位
- 光刻胶剥离、去边关键运动部件
产品中心
- ABB
- Allen-Bradley
- GE
- Schneider
- Yaskawa
- Bosch Rexroth
- Bently
- Triconex
- Honeywell
- Woodward
- Kuka
- NI
- Hima
- Yokogawa
- Emerson
- Motorola
- E+H
- Nvidia
- 储能产品
- Moog
- Kollmorgen
- Toshiba
- Metso
- Hitachi
- Xycom
- Sew
- Tektronix
- Omron
- Alstom
- Pacific
- Lam
- Mtl
- 其它品牌
- Siemens
- Amat
- Deif
- Agilent
- Elau
- Extreme Networks
全国服务热线
15359273790
技术过硬，据实报价
Gasonics AWD-D-3-1-7-004
2026-03-06 15:34 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics AWD-D-3-1-7-004
品牌Gasonics
型号AWD-D-3-1-7-004
价格电议
质保一年
电话 15359273790
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 