产品名称：Aura 2000LL 工艺腔体控制板产品简介：专用 PCB，负责 Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机核心工艺控制，协调等离子、气体流量、晶圆传输。技术规格
- 功能：Aura 2000LL 主工艺控制器
- 适用设备：Gasonics Aura 2000LL 等离子灰化机
- 接口：多通道 I/O功能特点
- 等离子、气体、运动系统精准协调
- 实时参数监控与调整
- 高级故障检测与保护应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机核心控制
- 200mm 晶圆光刻胶去除
- 半导体厂工艺一致性保障
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 