产品名称：Aura 2000LL 光刻胶灰化系统产品简介：先进单晶圆负载锁式等离子灰化系统，用于半导体制造超洁净、无损伤光刻胶去除。技术规格
- 适用晶圆：6 英寸、8 英寸
- 结构：单晶圆、负载锁、冷却站
- 腔体：水冷腔体、石英内衬
- 气体：四路 MFC
- 产能：20–40 片 / 小时功能特点
- 无损伤、高洁净度光刻胶去除
- 支持去边、非氧化金属灰化
- 终点检测、自动传输应用场景
- 高端半导体制造光刻胶去除主设备
- MEMS、先进器件清洗去边
- 研发、中试线高纯度清洗
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Gasonics A-2000LL
2026-03-06 15:35 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics A-2000LL
品牌Gasonics
型号A-2000LL
价格电议
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Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
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