产品名称：真空腔体联锁控制电路板产品简介：安全关键 PCB，管理 Gasonics 半导体设备真空腔体安全联锁，确保处理过程中腔体不可开启。技术规格
- 功能：真空腔体安全联锁控制器
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列
- 安全标准：符合 SEMI 安全标准功能特点
- 实时监测腔体压力、门位置
- 故障安全联锁逻辑
- 声光故障提示
- 急停系统联动应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 负载锁腔体安全控制
- PEP 4800DL 双腔体刻蚀机联锁管理
- 半导体设备安全合规关键部件
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Gasonics A90-005-06
2026-03-06 15:36 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品 Gasonics A90-005-06
品牌Gasonics
型号A90-005-06
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质保一年
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