产品名称：先进气体流量控制模块产品简介：高精度气体输送控制模块，用于 Gasonics 半导体设备工艺气体流量管理，确保配比精准、等离子工艺稳定。技术规格
- 功能：多通道气体流量控制分配
- 适用设备：Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列
- 材质：不锈钢、VCR 接头
- 精度：±1% 满量程功能特点
- 多路工艺气体同时控制
- 快速响应配方变化
- 流量校验与故障检测应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机气体控制
- PEP 系列介质刻蚀精密配气
- 半导体厂工艺重复性保障
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Gasonics 3750-01014
2026-03-06 15:33 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品 Gasonics 3750-01014
品牌Gasonics
型号3750-01014
价格电议
质保一年
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