产品名称：精密工艺腔体密封组件产品简介：高完整性密封件，用于 Gasonics 半导体工艺腔体真空密封，在晶圆处理时可靠隔离大气与高真空环境。技术规格
- 材质：高纯度、耐腐蚀氟橡胶
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列工艺腔体
- 温度：最高 200℃
- 压力：高真空兼容功能特点
- 超高真空密封，零泄漏
- 抗工艺气体、等离子副产物腐蚀
- 使用寿命长，压缩变形小应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 工艺腔体真空密封
- PEP 3510A 双腔体刻蚀机密封
- 半导体设备维护替换件
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Gasonics 15651-01C
2026-03-06 15:32 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics 15651-01C
品牌Gasonics
型号15651-01C
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