产品名称:射频匹配网络控制模块产品简介:早期版本射频匹配控制板,为老旧 Gasonics 等离子设备提供核心阻抗匹配功能,用于 legacy 设备替换。技术规格
- 功能:射频阻抗匹配控制模块
- 适用设备:老旧 Gasonics 等离子处理系统
- 接口:模拟控制信号功能特点
- 可靠阻抗匹配,等离子稳定生成
- 兼容老款射频发生器架构
- 结构坚固,适合工业环境应用场景
- 老旧 Gasonics 等离子灰化机、刻蚀机维护
- 前 Aura 系列设备替换控制模块
- 老旧产线维持运行
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产品Gasonics 96-2110A
品牌Gasonics
型号96-2110A
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