产品名称:高精度射频匹配网络控制板产品简介:专用 PCB,用于 Gasonics 等离子设备射频阻抗匹配网络精确控制,优化功率传输效率,保持等离子稳定。技术规格
- 功能:射频匹配网络控制与信号处理
- 适用设备:Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列
- 接口:高速数字通信功能特点
- 实时阻抗匹配
- 快速响应工艺阻抗变化
- 反射功率故障检测应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机
- PEP 4800DL Iridia 等离子刻蚀机阻抗控制
- 介质刻蚀、光刻胶去除工艺优化
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产品Gasonics 96-2110B
品牌Gasonics
型号96-2110B
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