Gasonics AWD-D-3-1-7-004

产品名称：晶圆定位伺服驱动组件产品简介：高性能伺服驱动系统，用于 Gasonics 工艺腔体内晶圆精准定位、对中、校准。技术规格类型：高扭矩伺服驱动 + 位置反...