Gasonics 90-2590

产品名称：等离子体腔体射频匹配网络模块产品简介：连接射频电源与等离子体腔体的关键匹配部件，自动调节阻抗，使射频电源输出的能量最大限度耦合到腔体内等离子体中，提升...